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氨水發(fā)生器

氨水發(fā)生器是一款應用在半導體工業(yè)領域，提供超純氨水的小型獨立系統(tǒng)。采用氣液混合的方式，將高純氨氣和超純水混合，可以對外持續(xù)供給電子級氨水，流量可定制。系統(tǒng)采用閉環(huán)控制技術，滿足不同用量工況下氨水濃度穩(wěn)定。 

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產(chǎn)品特點

響應速度快，調(diào)整時間短

控制精度高，氨水濃度穩(wěn)定，電導率控制范圍5-40us/cm

氨水出水壓力恒定，輸出壓力區(qū)間可調(diào)

通過質(zhì)量流量控制系統(tǒng)實現(xiàn)精確地氨氣劑量投加

采用超純發(fā)生技術與超純材料及工藝制造，避免、減少金屬污染及析出

集成度高，易于安裝和操作

自學習功能，快速適用多種工況

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    我們與國內(nèi)的臭氧運行及

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    協(xié)同您對臭氧發(fā)生系統(tǒng)中

    相關設備進行升級改造

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