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半導(dǎo)體級超純臭氧氣體發(fā)生器

ODST/S1N、DTCT/SN系列臭氧發(fā)生器能夠產(chǎn)生高濃度、大流量、高壓力的超潔凈臭氧氣體，整體模塊化設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，操作便捷、可視化外觀。 

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產(chǎn)品特點

臭氧響應(yīng)速度快，臭氧濃度高，濃度高達(dá)400g/Nm3以上

臭氧輸出壓力范圍寬，壓力滿足15-45psi區(qū)間運行

一定寬度氣體流量使用，實現(xiàn)工藝應(yīng)用靈活

采用超純發(fā)生技術(shù)與超純材料及工藝制造，避免、減少金屬污染及析出

水冷型，可選型氮氣摻加技術(shù)

內(nèi)部集成流量、壓力，臭氧檢測等各類相關(guān)儀表（可選）

獲得自主專利的臭氧專用結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證系統(tǒng)性能穩(wěn)定性

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